Il progetto è stato finanziato dal bando Voucher Impresa 4.0 della CCIAA di Bologna.
IMPRESA BENEFICIARIA: Prometheus
PARTNER DI RICERCA: Mister Smart Innovation
Descrizione
Consulenza di ricerca ad alto contenuto di innovazione tecnologica, finalizzato a definire la sequenza opportuna di microlavorazioni che, a partire dal substrato (“wafer”), del materiale optoelettronico (il niobato di litio), consenta di realizzare un microchip ottico utilizzabile come sensore intelligente programmabile digitalmente.
Obiettivi
Il dispositivo verrà realizzato sopra una base di diversi strati, ciascuno dei quali dello spessore di alcuni micron, realizzati e microlavorati con processi sequenziali. Per ciascun passaggio produttivo è necessario definire i parametri operativi (tempi, temperature, tipologia di attacco chimico, etc…) che caratterizzano il processo e lo rendono efficace e riproducibile. Il risultato sarà la definizione di dettaglio dell’intero ciclo produttivo del sensore, tenuto conto sia dei vincoli tecnologici che di quelli economici, per lavorazioni “batch” di alcune decine (tipicamente 30-40 esemplari) di microchip per ciascun wafer di materiale di partenza. Il processo verrà messo e punto e verificato sperimentalmente.
