fbpx

Enter your keyword

Microchip ottico Prometheus

Il progetto è stato finanziato dal bando Voucher Impresa 4.0 della CCIAA di Bologna.

IMPRESA BENEFICIARIA: Prometheus

Prometheus

Descrizione

Consulenza di ricerca ad alto contenuto di innovazione tecnologica, finalizzato a definire la sequenza opportuna di microlavorazioni che, a partire dal substrato (“wafer”), del materiale optoelettronico (il niobato di litio), consenta di realizzare un microchip ottico utilizzabile come sensore intelligente programmabile digitalmente.

Obiettivi

Il dispositivo verrà realizzato sopra una base di diversi strati, ciascuno dei quali dello spessore di alcuni micron, realizzati e microlavorati con processi sequenziali. Per ciascun passaggio produttivo è necessario definire i parametri operativi (tempi, temperature, tipologia di attacco chimico, etc…) che caratterizzano il processo e lo rendono efficace e riproducibile. Il risultato sarà la definizione di dettaglio dell’intero ciclo produttivo del sensore, tenuto conto sia dei vincoli tecnologici che di quelli economici, per lavorazioni “batch” di alcune decine (tipicamente 30-40 esemplari) di microchip per ciascun wafer di materiale di partenza. Il processo verrà messo e punto e verificato sperimentalmente.